苏州清芯卓半导体设备有限公司
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主营业务:晶圆清洗设备,刻蚀设备,通风橱,cds供液设备,酸碱施法清洗设备 等
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产品名称
苏州清芯卓-BOE清洗机
发布时间
2021-12-16
晶片规格: 2-8〞单、双cassette 主要材料: 金属骨架+PP/PVC壳体,槽体材质PP/PVDF/PTFE 工艺槽功能: 循环过滤+加热冷却 基础工艺流程: BOE
产品名称
晶圆清洗设备、芯片刻蚀
发布时间
2021-12-8
适应工件:2~8寸晶圆片清洗 批量产能:8寸25PCS/批 工艺流程:Cu蚀铜→-QDR→QDR←QDR-Ti刻蚀 工艺槽功能:循环过滤+加热冷却+上下抖动+花篮提升 主要材料:金属骨架+PV
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